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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示晶盛机电(300316)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“晶圆隐裂检测装置”,专利申请号为CN202520756078.X,授权日为2026年5月8日。
专利摘要:本申请公开了一种晶圆隐裂检测装置,包括:移动组件,移动组件包括导热管、驱动单元和至少一个沿设定方向延伸的导轨;隐裂检测组件,隐裂检测组件包括用于固定晶圆的工作载台,工作载台安装于导轨,并能够在驱动单元的作用下沿设定方向相对导轨移动,工作载台的至少部分覆盖导热管;视觉检测组件,视觉检测组件包括红外检测相机,红外检测相机用于拍摄经导热管加热后的晶圆的图像。该装置可以对加热后的晶圆进行隐裂检测,提高了对晶圆隐裂缺陷的检测效果。
今年以来晶盛机电新获得专利授权31个,较去年同期减少了40.38%。结合公司2025年年报财务数据,2025年公司在研发方面投入了9.55亿元,同比减14.67%。
通过天眼查大数据分析,浙江晶盛机电股份有限公司共对外投资了37家企业,参与招投标项目232次;财产线索方面有商标信息112条,专利信息1159条,著作权信息146条;此外企业还拥有行政许可40个。
数据来源:天眼查APP
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